非接触・非破壊で3Dデータを生成。表面形状測定システムNAZCA-3D

今回は画像解析に40年以上取り組んできた、三谷商事ビジュアルシステム部が提供する表面形状測定システム『NAZCA-3D』（ナスカスリーディー）をご紹介します。『NAZCA-3D』は非接触レーザー変位計と電動ステージを利用して対象物の表面形状をスキャンするシステムです。生成された3Dデータは、弊社の解析ソフトウェア『WinROOF』や『3DMeasurement』を用いて解析を行うことができます。

「ウェハの膜厚を3D計測するシステムがほしいが、価格が高い」
「大型サンプルの反り、広範囲をすばやくスキャンしたい」
「ガラス基板や樹脂など透明なサンプルの計測を行いたい」

というような悩みをお持ちの方に、『NAZCA-3D』をぜひご覧いただきたいです。

NAZCA-3Dの特徴

『NAZCA-3D』の特徴は、

・非接触・非破壊で表面形状の測定が可能

・レーザー変位計を使用することで、コストを抑えて導入可能 ※1

・センサやステージは選択可能　※2

・XYZ方向の広範囲を高速スキャニング

・透明サンプルや鏡面サンプルも測定可能

・卓上サイズでシステム化可能

※1レーザー顕微鏡・光干渉顕微鏡・コントレーサ・原子間力顕微鏡と比較した場合

※2『NAZCA-3D』は、その仕組みからレーザー変位計に限らず、アナログ信号を出力できるセンサであればスキャンに利用できます。膜厚計や温度、圧力計など幅広い応用が可能です。「レーザー変位計でスキャンしたデータを画像データに変換する仕組み」が気になる方は、過去の記事をご覧ください！

■■AD変換を利用してセンサの信号を画像化する｜MiVLog（ミブログ）■■

『NAZCA-3D』システム構成例

『NAZCA-3D』で生成したデータは、弊社の解析ソフトウェア『WinROOF』でも高さ計測を行うことができます。『WinROOF』では1つのデータ内で複数箇所計測することが可能です。また取り貯めた複数のデータを自動で一括処理することも可能です。

『3DMeasurement』では3D表示やプロファイル計測が可能で、体積や表面積、断面積、表面粗さなどを計測することができます。こちらのソフトは各メーカー様の取得するデータ形式へ対応するカスタマイズもぜひご相談ください。どちらのソフトウェアも簡単にExcelレポートを作成することができ、省力化をサポートします。

『NAZCA-3D』をイメージしていただきやすいように、デモ動画を公開しておりますので、ぜひご覧ください！サンプルは石膏ボードと硬貨を使用しています。

三谷商事ビジュアルシステム部の製品紹介

いかがでしたか。『NAZCA-3D』では非接触レーザー変位計と電動ステージを利用して、3Dデータの生成・解析が可能です。20年以上、電気電子・半導体・自動車・鉄鋼金属など幅広い業界でご利用いただいています。3D計測で課題をお持ちの方はぜひともご相談ください！

またユーザーの皆様からは、画像解析ソフトウェア『WinROOF』シリーズや異物検出システム『ContamiAnalyzer』などもご好評いただいております。弊社ソフトウェアにご興味がございましたら、ぜひお問い合わせください！

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