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WinROOFシリーズ おすすめ機能"線幅計測"

産業用画像解析のポピュラーなテーマ"線幅計測"

今回はWinROOFシリーズStandard版で利用できる機能の『線幅計測(ピーク幅計測)』機能をご紹介いたします!
線幅計測は半導体ウェハーや液晶カラーフィルタ、レジストの線幅、 電子部品の各部測定など...様々な場面で画像を利用して行われています。 ポピュラーなテーマですが、マイクロスコープや顕微鏡の映像上から人手で行われていることもまだまだ多く、 自動計測をご検討の方には是非とも知っておいていただきたい機能になります。
線幅_レジスト
下のように画像から人手で線幅の寸法計測を行う場合、次のようなことが問題になります
■人によって計測する箇所や基準がバラバラ
■人の目で見た際の誤差に加えてマウス操作の誤差も含んでしまう
手動線幅計測

これに対して、線のエッジを自動的に検出させて画像処理で線幅計測を行うと次のように計測結果を得ることができます。
自動線幅計測 この例では、線の全箇所を垂直方向に1か所ずつ幅を測定します。 指定した範囲内での"最小"・"最大"・"平均"をそれぞれ求めることができ、また、人手によるバラツキの少ない評価が可能となります。


WinROOFシリーズの『線幅計測(ピーク幅計測)』機能では画像内の複数の線幅を一括で計測することもできます。また、SEMI規格に準拠したLER(Line-Edge Roughness) 及び、 LWR(Line-Width Roughness)の線幅計測も行えます。

操作も範囲を指定するだけで線を自動的に認識してくれるのでとても簡単です。 線のエッジを正確にマウスでクリックすることなど気にすることなく、ワンタッチで線幅の計測を行えます。
自動線幅計測
範囲を描画すると、範囲内の線を自動認識して計測

範囲を指定して線幅を計測する方法以外にも、基準となるラインを描画することで、その線と交わる線幅を自動計測する機能など、線幅計測に適した様々な機能がございます。 自動線幅計測
描画したラインと交わる線幅を自動計測

線幅計測 まとめ

・作業者による線幅計測値のバラつき改善、作業効率のUPにはWinROOFシリーズの『線幅計測(ピーク幅計測)』をご活用ください!
・線を自動認識し計測値を算出するので、操作範囲を描画するだけでとても簡単!
・SEMI規格に準拠したLER、LWRの計測も可能!

SOFTWAREソフトウェア紹介

画像解析・計測ソフトウェアWinROOFシリーズは、弊社が30年間蓄積したお客様の声にお応えして、お客様にとって”最も使いやすく、最も身近なソフトウェア”をテーマに生まれ変わりました。あらゆる画像の解析評価でお客様の力となるソフトウェアです。
WinROOF2018ではWinROOF全ての機能を踏襲し、新たに新機能を追加しております。 表示言語として日本語⇔英語の切り替えも可能ですので、海外でのご利用にもご検討いただけます。

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