三谷商事株式会社 ビジュアルシステム部

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WinROOF2015

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計測機能

WinROOFでは多くの粒子が散在しているサンプルの自動計測や、3Dデータの高さやプロファイル計測、工業製品の線幅計測など様々な測定を自動的に行うことができます。自動計測により人為的なミスを防ぐことが可能となります。

粒子計測・統計値算出


粒子計測・統計値算出1.png 粒子特徴値による条件分け、隣り合う粒子の分離

金属粒子から動物細胞まであらゆる粒子・細胞の形状計測が可能です。
範囲を設定することで、指定した範囲内の形状計測も可能です。
また計測したデータから、統計データの算出も同時に行います。 
抽出粒子の条件設定から、OK/NG判c定までの解析が瞬時に計測可能です。
抽出した粒子の状態を編集する機能も搭載しています。


粒子計測・統計値算出2.png 驚異の多値化機能を搭載!

二値化処理を複数回行うことが可能な多値化機能を搭載。画像中の様々な対象物を識別し、計測することができます。
これまでのように、同じ画像に対して何度も処理を行う必要がなくなり、たったの一度で解析作業ができる大注目の機能です。

粒子計測・統計値算出34.png 計測データはヒストグラム表示が可能です。ヒストグラムは度数分布にも表示が切り替えられます。

計測後のデータはワンクリックでExcelへ転送できます。解析後の画像も表示可能です。
レポートのレイアウトはお好みに合わせて変更ができます。

円形・多角形粒子計測

enkei_demo.jpgのサムネイル画像 enkei_hisuto.jpgのサムネイル画像
粒子同士が重なっている場合は、通常の粒子解析では困難です。
本機能では、この粒子同士の重なりを分離し、直径、面積などの計測を行うことが可能となります。


自動線幅計測



自動線幅計測.png
画面上に並ぶ複数のラインに対して、自動で線幅を計測します。この時、それぞれの平均幅とは別に、ラインごとの全てのデータも取得することができます。
ある部分で幅が狭くなるなどの欠陥検査に利用することが可能です。
また、SEMI規格に準拠したLER(Line-Edge Roughness) 及び、 LWR(Line-Width Roughness)に対応しています。


高さプロファイル測定



高さプロファイル測定.PNG
取得した3Dデータより、高さ・幅・近似Rの計測が可能です。

※解析には対応しているメーカーフォーマットの3Dデータが必要になります。


濃度プロファイル測定


p6濃度プロファイル測定.PNG

任意のライン上における濃度データのプロファイル計測が可能です。また、取得したデータは計測リストに出力することが可能です。


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