Cosmo Finder

Cosmo Finder仕様

Cosmo Finderの標準的なハードウェア仕様になります。

測定対象ウェハー	ベア、パターン付き、膜付き
ウェハーサイズ	2インチ～8インチ
検査項目	異物、クラック、輝度ムラ、断線、パターン認識、寸法、サイズ、OK/NG判定
検出方法	顕微鏡画像処理方式（輝度抽出、AI分類、高速パターンマッチング）
検出時間	約10min/wafer（6インチウェハー、対物5x、分解能1.38umの場合）
検出感度	約2μm以上(対物10xの場合)
カメラ	2/3型　500万画素CMOSカメラ
光源	白色LED
オートフォーカス	レーザー三角測距式、合焦時間100msec以下
装置寸法	W：635mm　H：1,355mm　D：998mm
装置重量	約130kg

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