Cosmo Finder仕様
Cosmo Finderの標準的なハードウェア仕様になります。
仕様
| 測定対象ウェハー | ベア、パターン付き、膜付き |
|---|---|
| ウェハーサイズ | 2インチ～8インチ |
| 検査項目 | 異物、クラック、輝度ムラ、断線、パターン認識、寸法、サイズ、OK/NG判定 |
| 検出方法 | 顕微鏡画像処理方式（輝度抽出、AI分類、高速パターンマッチング） |
| 検出時間 | 約10min/wafer（6インチウェハー、対物5x、分解能1.38umの場合） |
| 検出感度 | 約2μm以上(対物10xの場合) |
| カメラ | 2/3型 500万画素CMOSカメラ |
| 光源 | 白色LED |
| オートフォーカス | レーザー三角測距式、合焦時間100msec以下 |
| 装置寸法 | W：635mm H：1,355mm D：998mm |
| 装置重量 | 約130kg |
