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Cosmo Finder

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Cosmo Finder仕様

Cosmo Finderの標準的なハードウェア仕様になります。

仕様

測定対象ウェハー ベア、パターン付き、膜付き
ウェハーサイズ 2インチ~8インチ
検査項目 異物、クラック、輝度ムラ、断線、パターン認識、寸法、サイズ、OK/NG判定
検出方法 顕微鏡画像処理方式(高速パターンマッチング、AI分類、輝度抽出)
検出時間 約10min/wafer(6インチウェハー、分解能0.69umの場合)
検出感度 約2μm以上
カメラ 2/3型 500万画素CMOSカメラ
光源 白色LED
オートフォーカス レーザー三角測距式、合焦時間100msec以下
装置寸法 W:635mm H:1,355mm D:998mm
装置重量 約130kg

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