Cosmo Finder仕様
Cosmo Finderの標準的なハードウェア仕様になります。
仕様
測定対象ウェハー | ベア、パターン付き、膜付き |
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ウェハーサイズ | 2インチ~8インチ |
検査項目 | 異物、クラック、輝度ムラ、断線、パターン認識、寸法、サイズ、OK/NG判定 |
検出方法 | 顕微鏡画像処理方式(高速パターンマッチング、AI分類、輝度抽出) |
検出時間 | 約10min/wafer(6インチウェハー、分解能0.69umの場合) |
検出感度 | 約2μm以上 |
カメラ | 2/3型 500万画素CMOSカメラ |
光源 | 白色LED |
オートフォーカス | レーザー三角測距式、合焦時間100msec以下 |
装置寸法 | W:635mm H:1,355mm D:998mm |
装置重量 | 約130kg |