三谷商事株式会社 ビジュアルシステム部

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Cosmo Finder

  • 特徴
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ローコスト、省スペースに高速な外観検査を実現

Cosmo Finderは顕微鏡を利用したウェハーの外観検査を画像処理を使って高速・高精度に実現する装置です。

・全数のウェハーを検査出来ていない
・数μmの小さな異物や傷が見つからない
・欠陥の分類作業が出来ていない
・作業者による誤差や検出ミスが多い
・検査結果をデータで残し、ペーパーレスを実現したい・・・など

お客様のお悩みをこの1台で解決します。

利用場所を限定しない省スペース設計

装置2-2.png コンパクトなデザインにより、フットプリント1m×1m以下を実現しました。(寸法は参考値)

本体内部に光学ユニット、駆動ユニット、画像処理ユニット、制御ユニットをビルトインし、省スペースながらハイパフォーマンスを実現。製造工程からR&D部門まであらゆるシーンで利用していただくことができます。

画像解析30年以上の経験が高精度な検査を実現

画像解析ソフト開発30年以上の経験から多くのお客様のご要望取り入れ、様々な欠陥の認識に対応することが可能です。今まで検出が困難だった異物やキズなど検査にもCosmo Finderが威力を発揮します。

検査結果.png

重なり合うような異物や傷があっても検出可能です。





研磨傷内にある異物や打痕も正確に捉えます。


AIによる分類技術が課題解決をサポート

外観検査で検出された欠陥を管理する場合には、"人の目では分類できてもコンピュータでは分類できない"そんなお悩みが良くありました。しかし、Cosmo FinderのAI機能にて学習させることにより、似たような粒子の形状、大きさ、明るさ等から、あたかも人が分類したかのような分類が可能になります。

sample2.png

オプション

様々なオプション対応により、サンプルの特性に合わせたカスタマイズや前後の工程とのジョイントもご対応いたします。気軽にご相談ください。

■ローダー・アンローダーユニット
■吸着ユニット
■エクスパンド、バッググラインディング済みウェハ対応
■刻印文字の認識、バーコード・QRコード対応
■GEMなどを利用した上位システムとの連携
■安全対策・・・など

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