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NAZCA-3D

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NAZCA-3Dシステム仕様

NAZCA-3Dシステムの主な仕様です。

システム仕様

分解能 水平(平面):最小0.2μm(≦5mm)※1
垂直(高さ):0.1μm(≦5mm)※2
精度 高さ繰り返し精度:0.2μm以下※3
測定領域 測定領域(縦×横) :0.02×0.02mm~300×300mm※4
最大試料高さ :標準:80mm※5
ワーキングディスタンス :6mm※2
スキャニングステージ :標準:20mm、50mm、100mm、200mm、300mm※6
センサ構造 Zステージ稼動量 :微粗動30mm※1
計測 主な計測項目 : 段差計測、断面プロファイル計測(高さ、幅、角度、R、波形比較)、 体積・表面積、平面寸法計測、画面内多点計測、表面粗さ、周期性分析、粒子解析、基準面高さ分析

※1.標準50mmステージの場合。使用する測定ステージの種類により変わります。
※2.超高精度センサ使用時。ただし、使用する測定部センサヘッドによって異なります。
※3.超高精度センサを使用して既定段差ブロック3μmの段差を20回繰り返し測定した際のσ (測定領域:各段5mm矩形)
※4.標準200mmステージ使用時
※5.異形物はご相談ください。
※6.その他、特注ステージ、安全ブースもオプションにてご提案可能

システムユーティリティ

外形寸法※1 (W×D×H)mm:約800×600×500mm※1
質量※1 約30kg
最大消費電力※1 約500VA
電源※1 3pin 100V 約10A
使用周辺温度※1 5~40℃
コンセント数 6口以上

※1.標準50mmステージの場合。使用する測定ステージの種類により変わります。

センサ部

超高精度タイプ [TYPE1] 測定範囲:0.6mm,分解能:0.01μm,基準距離:6mm,スポット径:2μm
[TYPE2] 測定範囲:2mm,分解能:0.1μm,基準距離:30mm,スポット径:7μm
高精度タイプ [TYPE1] 測定範囲:2mm,分解能:0.01μm,基準距離:10mm,スポット径:20μm
[TYPE2] 測定範囲:10mm,分解能:0.05μm,基準距離:30mm,スポット径:30μm
[TYPE3] 測定範囲:30mm,分解能:0.2μm,基準距離:80mm,スポット径:70μm
[TYPE4] 測定範囲:80mm,分解能:0.5μm,基準距離:150mm,スポット径:120μm
測定方式 超高精度タイプ...共通点
高精度タイプ ...三角測距離

※使用するセンサーは仕様・用途に応じてご選択・ご提案可能です。別途ご相談ください。
※上記仕様は、一部変更される場合がございます。別途ご相談ください。
※上記以外のスペックの場合もご提案可能です。

ステージ部

移動量XY 20mm, 50mm, 100mm, 200mm
繰り返し位置決め精度 ±1μm
位置決め精度 4μm(移動量10mm時)
最小移動分解能 0.2μm
高さ(手動)調整機構 30mm

※使用するセンサーは仕様・用途に応じてご選択・ご提案可能です。別途ご相談ください。
※上記仕様は、一部変更される場合がございます。別途ご相談ください。
※上記以外のスペックの場合もご提案可能です。

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