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NAZCA-3D

  • 特徴

AD変換で表面形状をスキャンするシステム NAZCA-3D

NAZCA-3Dは非接触レーザ変位計と電動ステージを利用して対象物の表面形状をスキャンするシステムです。XYステージを動作しながら変位計の出力をAD変換しPCへ取り込むことで高速に3Dデータを生成し、計測・解析を行えます。使用するレーザ変位計と電動ステージは用途に沿ったものを選択していただけます。

nazca_main.gif

対象物の表面形状を高速で広範囲に正確に測定するシステムです。非接触レーザ変位計と電動2軸ステージを専用の治具に装着し、XY方向に走査することで高速に3Dデータを生成します。生成された3Dデータは様々な用途に合わせ、3D表示、計測、特殊測定など高度画像処理を用いた解析を行うことができます。システムに使用するレーザ変位計と電動ステージも用途に沿って選択でき、システム構築することが可能です。

データの取り込みはレーザー変位計の出力値(アナログ信号)をデジタル信号へ変換し行われます。そのため、レーザー変位計だけでなく計測値を電圧としてアナログ出力できるセンサーであれば、ステージの移動と同期したスキャンや測定に利用することできます。

測定スペック

レーザー変位計を要求精度やレンジにあわせて選択することで、下記の様な幅広い測定が可能です。

変位計タイプ1

1.測定精度1計測繰り返し性0.2μmを実現(※1)
0.002~0.6mmの段差計測に最適
2.測定エリア(XY)100mm、200mm、300mmから選択
用途に合わせてスキャニングステージ種類の選択可能(※2)
3.測定レンジ(Z)●超高精度タイプ :0.6mm、2.0mmから選択(※3)
●高精度タイプ:2.0mm、10.0mm、30.0mm、80.0mmから選択(※3)
4.測定時間1×1mmを約50秒(※4)
10×10mmを約5分(※5)で測定
5.カスタム加熱検査用ホットプレート搭載ステージや、 重量物測定用倒立型ステージ、その他大型ステージも提案可能

※1.超高精度タイプのセンサを利用し、既定段差ブロック0.003mmの段差を20回繰り返し測定した際のσ(測定領域:各段5mm矩形
※2.カスタム対応にて300mm以上の大型ステージなども可能
※3.データ数10,000データ(100×100点)、0.01mmピッチ、双方向スキャン時
※4.データ数40,000データ(200×200点)、0.05mmピッチ、双方向スキャン時


その他
変位計に拘らず±10Vのアナログ出力が行えるセンサーであれば、ステージの移動と同期した値の取り込みは可能です。

非接触・非破壊で表面形状を3D化

測定部にレーザ変位計を採用することにより、対象物に傷を付けずに破壊することなく正確な3Dサンプリングを実現します。非接触・非破壊で表面形状を3D化

高速リアルタイムサンプリング

当社独自の高速3Dデータ処理の実現により100×100のデータをおよそ50秒※1でスキャニングし3D画像化することできます。広範囲※2な測定範囲も短時間で3Dデータを得られます。スキャン中もRSV方式によりグラフィカルな3D表示をご覧いただけます。 ※1.1,000×1,000μmの範囲をスキャニングした場合 ※2.測定可能範囲は、使用するステージにより異なります。

高速リアルタイムサンプリング

豊富な画像処理・解析機能

NAZCA-3Dでは生成された3Dデータを柔軟に定量化することができます。多彩なグラフィック3Dビュー、高度な2D・3D補正処理、豊富な計測、解析処理など、様々な用途にお応えいたします。

豊富な画像処理・解析機能

AD変換によるデータ取込みにより様々なセンサーで利用可能

NAZCA-3Dでは±10Vのレンジで出力されたアナログ信号(電圧)をADC分解能 16bitでPCへ取り込むことでデータを生成します。そのためレーザー変位計を利用した表面形状だけでなく、膜厚計を利用した厚みデータのスキャンや温度計を利用した計測など様々なセンサーの情報を面として可視化することができます。

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