三谷商事株式会社 ビジュアルシステム部

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開発システム 事例顕微鏡用ウェハ表面検査システム

6、8、12インチウェハ上のエッチングパターンの幅・高さや異物認識などを目視および自動検査するシステムを構築します。 お客様の用途に合わせて、半導体顕微鏡、レーザー顕微鏡などを利用して、ウェハ表面の任意の測定イベントに基づき、XYステージにより位置決めされた場所の目視および自動測定などを可能としたシステムです。お客様のご使用環境に合わせて構築致しますので、いわばお客様専用のウェハ表面検査システムを構築させていただきます。

豊富な機能バリエーション。検査効率の向上。

カスタマイズ対応可能。お客様専用のウェハスクリーニングシステムを構築
目視や自動検査で簡単判定。管理も容易
半導体顕微鏡、レーザー顕微鏡とのジョイント可能 (既存設備をシステムアップ利用)


機能例
ウェハ情報を登録可能 ウェハローダによる非接触検査に対応
座標ティーチング機能(様々なパターン登録) ウェハマップ表示(NG箇所をカラー表示)
アライメント機能(位置合わせを高精度に) 報告書作成(お客様ご指定のフォーマットに対応)
全面オート観察&判定機能(電動ステージ駆動) 検査結果をASCIIに保存(他の検査装置に簡単に読込)
目視特別機能(最大7種類の分類が可能) NG種類分別
自動エッジ検出機能による形状判定 オートフォーカス機能の追加
外付けキーパッドをカスタム可能 両面検査に対応
再検査機能でNG箇所を再確認 4~12インチサイズのウェハに対応可能

こんな方におすすめです

wafer_main.gif

ウェハ表面上のパターンや欠陥、異物の検査において、目視での検査精度を重視している。
作業者による誤差を軽減し、自動化検査システムを検討している。
顕微鏡を覗くという固定された姿勢で長時間の作業を強いられている。
目視検査をしていて、どこを検査していたのかわからなくなってしまう。
検査結果をCSVデータで出力したい。
既存設備を利用したい。
1000万円以内での格安検査システムを探している。

機能ピックアップ

wafer_004.GIF

●STEP 1
ウェハのチップ位置・アライメントマーク位置情報をCSVファイルで作成します。
●STEP 2
品種名・Lot No.、ウェハNo.を入力し、パターン、チップの大きさを登録します。
加えて、アライメントマーク位置情報をソフトウェアに覚え込ませます。
●STEP 3
Liveモニタで確認しながら目視や自動で判定を行います。
●STEP 4
検査終了後は、マップウィンドウにて確認を行うことができ、検査結果をCSVで保存できます。
判定を行った画像データは、指定したフォルダに判定項目毎に管理されています。

システム構成例

顕微鏡
(半導体、レーザー顕微鏡など)
観察倍率25~1500倍
ハロゲンランプ
明視野・微分干渉観察
電動XYステージ 移動分解能 2μm
繰り返し位置決め精度 +-2μm
顕微鏡用カメラ 解像度200万画素 USB2.0デジタルカメラ
外形サイズ(mm) 1100(W)×800(D)×620(H)
オプション パターン、異物自動判定機能など
電動顕微鏡制御
オートフォーカスユニット
ウェハローダ制御
NGマーカ連動
吸着ステージ
デュアルモニタ仕様

※記載の構成は参考例となります


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