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ContamiAnalyzer デジタルマイクロスコープ対応異物検出システム
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画像処理・画像解析の三谷商事デジタルマイクロスコープ対応異物検出システム ContamiAnalyzer
ContamiAnalyzerは、顕微鏡でなければ識別できない微小な粒子を検出し粒子サイズごとの分析や合否判定を行うことができるシステムです。

デジタルマイクロスコープ対応異物検出システム 特長

・ 撮影電動ステージにより広い領域内をダブルカウントすることなく自動で解析します。

・ 光学分解能の高いレンズと焦点深度の深いレンズの採用により粒子を確実に検出します。

・ 交換可能な光学ズームレンズを搭載しているので幅広い粒子サイズに対応します。

・ 最少検出能力は1.1μmです。

濾過フィルター上の異物検査 シリコンウエハーやガラス上の異物検査
濾過フィルー上の異物検査 シリコンウエハーやガラス上の異物検査

 性能

■ 測定時間

使用するレンズ倍率と測定範囲により異なります。
(80倍撮影、測定範囲20mm×20mm・・・5分)


■ ユニット仕様
@ マイクロスコープ
   
A 観察電動ステージ
   
B ステージコントローラ

C 制御PC
   OS: Windows XP
   
デジタルマイクロスコープ対応異物検出システム

 オプション

■ e-Tiling との併用
デジタルマイクロスコープ対応異物検出システム 画像連結ソフトe-Tiling と併用すると撮影範囲を1枚の画像に合成することが可能になります。

 製品カタログ

■ 製品カタログダウンロード
デジタルマイクロスコープ対応異物検出システム ContamiAnalyzer ContamiAnalyzerの製品カタログです。
ダウンロード(PDF)
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デジタルマイクロスコープ対応異物検出システム ContamiAnalyzer


 

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