三谷商事株式会社 ビジュアルシステム部

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SurftopEye

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SurftopEye特徴

SurftopEyeは、表面の広がりを含めた3次元表面形状を計測するソフトウェアです。表面形状の回帰処理から計測、さらに3次元表示までもサポートしています。 標準的な高さデータファイルUDF(sdf)に対応しており、レーザ顕微鏡・AFM・STM・触針式輪郭形状測定機等の3次元形状測定機の形状データファイルを読み込むことができます。

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Birmingham14パラメータと拡張評価パラメータ

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Birmingham14パラメータを数値化することができます。また、突起頂上や窪底の高さに関する統計分布パラメータと面内の配置形態を表す配置係数、突起頂上近傍の幾何特性に関する統計分布パラメータなどを拡張評価パラメータとして数値化することができます。

輪郭断面曲線上での距離測定

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表面形状データの表示画面においてROIを指定すると、その位置の輪郭断面曲線が表示されます。その輪郭断面曲線上で、任意方向の2点距離・高さ・長さを算出することができます。

面回帰処理とスタイラス先端径補

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試料面の巨視的な形状ゆがみ成分を、代表的な初等関数を当てはめることで除去することができます。(面回帰処理)また、触針式輪郭形状測定機による実測データに対して、スタイラス先端半径分を幾何学的に逆オフセットさせた表面形状データを作りだすことができます。

豊富なフィルタ処理

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表面形状データの局所的な傾斜値から異常値を検出し、その突出データをメディアンフィルタで補正することができます。また、表面波長基準のフィルタを数多く揃えており、実測データの前処理として機能します。

リアルタイム3次元視覚化表示

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表面形状の実測データや処理結果の3次元表示を行い、立体的な観察とイメージ分析に貢献します。また、直交するX・Y・Zの各軸回りの回転とズームがリアルタイムに行えます。

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