三谷商事株式会社 ビジュアルシステム部

mitani corporation
  • 製品ラインナップ
  • ダウンロード
  • サポート
  • 事業紹介

NAZCA-3D

  • 特徴

NAZCA-3D特徴

NAZCA-3Dは、対象物の表面形状を高速で広範囲に正確に測定するシステムです。非接触レーザ変位計と電動2軸ステージを専用の治具に装着し、XY方向に走査することで高速に3Dデータを生成します。生成された3Dデータは様々な用途に合わせ、3D表示、計測、特殊測定など高度画像処理を用いた解析を行うことができます。システムに使用するレーザ変位計と電動ステージも用途に沿って選択でき、システム構築することが可能です。

nazca_main.gif

測定スペック


レーザー変位計を要求精度やレンジにあわせて選択することで、下記の様な幅広い測定が可能です。

変位計タイプ1



1.測定精度1計測繰り返し性0.2μmを実現(※1)

0.002~0.6mmの段差計測に最適
2.測定エリア(XY)100mm、200mm、300mmから選択

用途に合わせてスキャニングステージ種類の選択可能(※2)
3.測定レンジ(Z)●超高精度タイプ :0.6mm、2.0mmから選択(※3)
●高精度タイプ:2.0mm、10.0mm、30.0mm、80.0mmから選択(※3)
4.測定時間1×1mmを約50秒(※4)

10×10mmを約5分(※5)で測定
5.カスタム加熱検査用ホットプレート搭載ステージや、
重量物測定用倒立型ステージ、その他大型ステージも提案可能

※1.超高精度タイプのセンサを利用し、既定段差ブロック0.003mmの段差を20回繰り返し測定した際のσ(測定領域:各段5mm矩形
※2.カスタム対応にて300mm以上の大型ステージなども可能
※3.データ数10,000データ(100×100点)、0.01mmピッチ、双方向スキャン時
※4.データ数40,000データ(200×200点)、0.05mmピッチ、双方向スキャン時

変位計タイプ2

1.測定精度1計測繰り返し性0.15~0.5μmを実現
最大180mmまでの段差計測に最適
2.交換レンズ16、25、50、50EXT、75、100、125EXT、150、250から選択
用途に合わせて選択可能
3.測定レンジ(Z)●高性能プローブ :0.2mm、0.6mm、2.0mmから選択
●標準プローブ :0.6mm、1.8mm、8.0mm、18.0mm、35.0mm、45.0mm、70mm、180mmから選択
4.角度測定 170°
5.カスタムレンズ交換により測定範囲のカスタマイズが可能

非接触・非破壊で表面形状を3D化


測定部にレーザ変位計を採用することにより、対象物に傷を付けずに破壊することなく正確な3Dサンプリングを実現します。nazca_001.jpg

高速リアルタイムサンプリング


当社独自の高速3Dデータ処理の実現により100×100のデータをおよそ50秒※1でスキャニングし3D画像化することできます。広範囲※2な測定範囲も短時間で3Dデータを得られます。スキャン中もRSV方式によりグラフィカルな3D表示をご覧いただけます。
※1.1,000×1,000μmの範囲をスキャニングした場合
※2.測定可能範囲は、使用するステージにより異なります。

nazca_002.jpg

豊富な画像処理・解析機能

NAZCA-3Dでは生成された3Dデータを柔軟に定量化することができます。多彩なグラフィック3Dビュー、高度な2D・3D補正処理、豊富な計測、解析処理など、様々な用途にお応えいたします。

nazca_003.jpg

トップへ