特徴
用途
技術
ソフトウェア
仕様
■システム仕様
システム仕様
分解能
水平（平面）
最小0.2μm（≦5mm）※1
垂直（高さ）
0.1μm（≦5mm）※2
精度
高さ測定繰り返し精度
0.2μm以下※3
測定領域
測定領域（縦×横）
0.02×0.02mm〜300×300mm※4
最大試料高さ
標準：80mm※5
ワーキングディスタンス
6mm※2
スキャニングステージ
標準：20mm、50mm、100mm、200mm、300mm※6
センサ機構
Ｚステージ稼動量
微粗動30mm※1
計測
主な計測項目
段差計測、断面プロファイル計測（高さ、幅、角度、Ｒ、波形比較）、体積・表面積、平面寸法計測、画面内多点計測、表面粗さ、周期性分析、粒子解析、基準面高さ分析
※1．標準50mmステージの場合。使用する測定ステージの種類により変わります。
※2．超高精度センサ使用時。ただし、使用する測定部センサヘッドによって異なります。
※3．超高精度センサを使用して既定段差ブロック3μmの段差を20回繰り返し測定した際のσ
(測定領域：各段5mm矩形)
※4．標準200mmステージ使用時
※5．異形物はご相談ください。
※6．その他、特注ステージ、安全ブースもオプションにてご提案可能
システムユーティリティ
外形寸法※1
（W×D×H）mm：約800×600×500mm※1
質量※1
約30kg
最大消費電力※1
約500VA
電源※1
3pin 100V 約10A
使用周辺温度※1
5〜40℃
コンセント数
6口以上
※1．標準50mmステージの場合。使用する測定ステージの種類により変わります。
センサ部
超高精度タイプ
高精度タイプ
測定範囲(mm)
0.6
2
2
10
30
80
分解能(μm)
0.01
0.1
0.01
0.05
0.2
0.5
基準距離（mm）
6
30
10
30
80
150
スポット径(μm)
2
7
20
30
70
120
測定方式
共焦点
三角測距
※使用するセンサーは仕様・用途に応じてご選択・ご提案可能です。別途ご相談ください。
※上記仕様は、一部変更される場合がございます。別途ご相談ください。
※上記以外のスペックの場合もご提案可能です。
ステージ部
移動量XY(mm)
20
50
100
200
繰り返し位置決め精度
±1μm
位置決め精度（μm）
4μm(移動量10mm時)
最小移動分解能
0.2μm
高さ(手動)調整機構
30mm
※使用するセンサーは仕様・用途に応じてご選択・ご提案可能です。別途ご相談ください。
※上記仕様は、一部変更される場合がございます。別途ご相談ください。
※上記以外のスペックの場合もご提案可能です。
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