三谷商事株式会社 ビジュアルシステム部

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開発システム 事例表面粗さ計測ソフトウェア

JIS B 0601-2001対応の表面粗さ計測ソフトウェアWinROOF-Roughnessは、標準的な高さデータファイルUDF(sdf)に対応しており、レーザ顕微鏡・AFM・SPM・触針式表面粗さ計、輪郭形状測定機等のあらゆる表面形状測定機のデータファイルを読み込むことができます。JISで定義されていないオリジナルの表面粗さパラメータをサポートし、複雑な表面の情報をあらゆる視点から定量的に解析できます。

あらゆる形状測定器に対応

レーザ顕微鏡・AFM・SPM・触針式表面粗さ計、輪郭形状測定機等あらゆる形状測定器のデータを読み込み可能です。通常は、測定器毎に計測ソフトが存在し、その都度操作性、機能性が異なり、作業者の混乱と比較評価などが困難でありました。あらゆる形状測定器のデータをロードできることで、操作性やデータ管理を一元化でき、全ての測定データについてより信憑性を向上でき、オペレータの作業効率も大幅に向上できます。
対応フォーマット:UDF形式(sdf)、WYKO(asc)、ZYGO(d,dat)、Veeco(f)、ELIONIX(dat)、ミツトヨ(csv)、三鷹光器(am3,csv)、SII(xqt)、CSV、TXT他 )MITANI(frn,tdv,vv3)、Olympus(LEXT)

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JIS B 0601-2001 ライン粗さ/面粗さ計測

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2001年版JISに対応したライン粗さ計測が可能です。また、指定領域及び高さ、形状によるマスク領域設定による面粗さ計測で確実なJIS粗さ評価を行うことができます。
粗さパラメータ:Ra、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rt、RS、Rc、Rsm、Rmr

ベース面補正

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本来のフラット面を自動で算出し、斜めのデータも簡単に補正できます。また、異物や突起が邪魔をする場合でも、参照領域を指定することで、それらを無視して補正を行うことができます。

オリジナル次世代3D表面粗さパラメータ

※長岡技術科学大学柳研究室との共同開発 rough_004.gif

従来規格化されているライン粗さ評価では、ある段面だけの評価となりデータに人による誤差や測手場所により誤差を生じました。オリジナルパラメータでは、画像全面での評価を行い、より信頼性の高い解析を可能とします。

異常値補正・フィルタリング

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反射光式測定器の場合には、対象物に複数の反射率の異なる物質が存在する場合、ノイズになることがある。その異常値を限界角度の数値当により、補正することができます。また、ガウシアン、メディアン、スプラインフィルタなど用途に合わせて最適なフィルタを選択できます。

報告書作成が簡単

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レポート作成機能で、計測された画像、ラインプロファイル、粗さ計測、3D表示、データシートなどは、簡単にレポート作成可能です。また、各々のデータは簡単Excelへ出力できます。

本体環境

OS Windows OS (日本語、英語)
ドライブ CD-Rドライブ
メモリ 512MB以上
デバイス USBポート1つ
HDD 500GB以上
ディスプレイ XGAフルカラー表示可能でOpenGLフルサポートなもの

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